集成电路的历程（集成电路的前世今生） 完整的数字集成电路芯片设计及生产流程 1、半导体集成电路工艺，包括以下步骤：光刻，刻蚀，薄膜（化学气相沉积或物理气相沉积），掺杂（热扩散或离子注入），化学机械平坦化CMP。芯片制造如同盖房子，以晶圆作... admin 2023-11-21 1386 #集成电路的历程
